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光谱分析仪开机前检，维护和保养是保持光谱分析仪性能良好和硬件完好的关键。测定前操作者必须做好合理的安排，实现安排好各项准备工作，切忌在同一段时间里对光谱分析仪主机开开停停。
仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬间电流大大高于运行正常时的电流，瞬间的脉冲冲击，容易造成功率管灯丝断丝，碰极短路及过早老化等，用量能否连续工作，一般氩气的储量至少一个满瓶以上才可以开机，检查氩气净化机工作状态是否正常，如果不正常或者不能工作，马上更换高纯度氩（99.999%）；然后首先开启氩气净化机，打开氩气，检查仪器气体系统工作是否正常，将氩气出口压力调在（0.45~0.6）MPA之间。
检查循环水机的连接管路是否有泄漏，检查循环水机的电源连接是否正常，检查循环水机内循环液的液面是否在线上；在正常情况下，推荐半年更换循环液。循环水机的出水压力应为（0.31！0.55）MPa。有的水平（轴向）观测光谱分析仪需要用空压机切割尾焰，还要检查压缩机的工作状态气压是否在0.6MPa，检查完毕状态正常后开启循环冷却水和空气压缩机，打开稳压电源，检查稳压电源是否欠压工作，如果电压正常在1min后打开主电源开关，否则要等稳压电源稳定在打开光谱分析仪主机电源；如果打开主机电源后出现指示灯不亮和接触器不吸合等现象，可检查机内电源箱侧面1A和5A的熔丝是否烧坏；打开主机电源后光学恒温系统（FPA）开始升温，新型号光谱分析仪的预热时间一般在30min左右就可以达到恒温状态，老型号的仪器大约需要（2~3）h。然后依次打开计算机主机、显示器和打印机，进入操作系统，打开循环水开关；如果选择波长为190nm以下的谱线，还需要打开多色器对检测器进行吹扫。特别注意，先打开氩气，再打开稳压电源，最后打开主机电源，顺序千万不能颠倒。
