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导语：VCSEL激光（垂直腔面发光器激光）是一种具有广泛应用的半导体激光器，其光束质量和光束形状的合格与否对其的性能至关重要。因此，对VCSEL激光的远场测试十分重要。本文将介绍VCSEL激光远场测试的几种常用方法。
1. 自由空间法
在自由空间法中，VCSEL激光器发出的光通过透镜集成微透镜阵列，将光反射到被测试的面板上。通过进行偏移量的测量和计算，可以获得VCSEL激光器的远场模式。此方法操作简便，测试迅速，结果准确。然而，由于测试结果对VCSEL焦距非常敏感，因此需要非常精确的测量。
2. 透射法
透射法是一种将VCSEL光集成在大尺寸单模硅光纤或多模光纤中的测试方法。在测试中，测试前面或在投射后施加一个光束表面，测量投射角，可以确定远场模式的弯曲度和分布。透射法的好处是它可以通过其相对简单和可重复的步骤，估计光束好坏从而判断VCSEL激光器的状态。
3. 干涉仪法
在干涉仪法中，VCSEL激光通过一个光学系统后进入两个光学干涉圈。干涉圈使生成干涉图案，通过分析干涉到得到干涉模式轮廓，并计算出光束的直径。该方法的主要优点是其高度精确和重复性，且能够检测到VCSEL激光器微小的引入误差。
总结：通过以上三种方法，我们可以对VCSEL激光的光束质量和光束形状进行准确的远场测试。自由空间法操作简便、结果准确，透射法相对简单易于重复，干涉仪法精确可靠，可以根据实际需求灵活选择不同的方法进行测试，并优化相应的测量策略和参数，从而提高VCSEL激光器的品质和性能。
