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LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)是该技术通过超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体,利用光谱仪对等离子体发射光谱进行分析,识别样品中的元素组成成分,可以进行材料的识别、分类、定性以及定量分析。
莱森光学iSpecLIBS-OEM超景深显微LIBS元素分析仪主要由激光器、高分辨率光谱仪、激发探测光谱探头、显微成像、触发延迟控制器、光谱采集分析软件等组成。可以作为专门显微LIBS模块与超景深显微镜搭配使用,适配奥林巴斯DSX1000/2000及其它品牌超景深显微镜。
显微LIBS是传统激光诱导击穿光谱技术的微区化发展,其核心特点是在光学显微镜的观察尺度内,使用高度聚焦的激光束对样品表面进行精准的元素分析。它整合了显微观察与化学分析,实现了“所见即所测”。广泛适用于金属、电池材料、食品、制药、汽车等众多行业的快速材料识别、分类与成分分析。



无需破坏目标物、无需导电性处理、无需抽真空
微米级空间分辨率,支持表面微区分析和深度剖面分析
元素分析范围广泛:覆盖元素周期表中几乎所有元素;可精准检测碳(C)、氢(H)、氧(O)、氮(N)、锂(Li)、铍(Be)、硼(B)等轻元素;多数元素检出限可达10-100 ppm量级
微米级别的深度分析和三维Mapping立体绘图
智能化光谱采集控制分析软件,元素寻峰匹配识别和在线元素浓度预测,元素浓度定量分析建模和分析软件(峰高法,峰面积法,峰高比,峰面积比)
LIBS通常的检出限
Li,Be,B,Na,Mg,Al,K,Ca等元素>10ppm即0.001%)
Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Mo等元素>100ppm即0.01%)C,N,O,P,Si等元素>200ppm即0.02%)F,Cl,Br,S等元素>0.5%
LIBS光谱采集分析软件






n 电子异物分析
超景深显微LIBS元素分析仪可实现对印刷电路板(PCB)、连接器等精密电子元件的高倍可视化观测与成分快速分析。针对印刷电路板连接器等关键部件,该工具支持微观成像,能清晰捕捉连接器引脚、焊点及表面附着异物的形貌特征,并采用LIBS技术获取异物的光谱曲线,精准识别异物的元素组成,帮助工程师判断异物来源。
n 多层元素分析
超景深显微LIBS元素分析仪通过持续激光照射实现微区钻孔,能精准穿透表层、中间层,直达基底,逐层完成元素判别,可实现电子元件从表面到内层的元素判别,带涂层或油膜的目标物无需预处理即可直接分析。
n 多点位元素分析
超景深显微LIBS元素分析仪支持多位置同步元素判别,高效适配多场景分析需求。当需要同时分析基材与附着物的元素组成,或同一目标物表面存在多个异物、不同区域需分别检测时,可无需频繁调整检测位置、重复操作,实现一次性高效完成全范围分析作业,大幅提升检测效率,减少操作耗时,确保分析结果的连贯性与准确性。